高純度エッチングガス
- 高純度NF3 / Cas No. 7783-54-2 高純度三フッ化窒素
- 高純度CF4 / Cas No.75-73-0 PFC-14 高純度テトラフルオロメタン
- 高純度C3HF5 / Cas No. 2252-83-7 HFO-1225ye(Z) 高純度フルオロメタン
- 高純度CH3F / Cas No. 593-53-3 HFC-41 高純度フルオロメタン
- 高純度CF3I / Cas No. 2314-97-8 FIC-13I1 高純度トリフルオロヨードメタン
- 高純度C3F6 / Cas No. 116-15-4 PFO-1216 高純度ヘキサフルオロプロピレン
- 高純度C2F6 / Cas No. 76-16-4 高純度1,1,1,2,2,2-ヘキサフルオロエタン
- 高純度C4F6 / Cas No. 692-50-2 高純度1,1,1,4,4,4-ヘキサフルオロ-2-ブチン
- 高純度C4F6 / Cas No. 685-63-2 PFO-2316 高純度ヘキサフルオロ-1,3-ブタジエン
- 高純度C4F8 / Cas No. 115-25-3 オクタフルオロシクロブタン FC-318
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