高純度WF6 / Cas No. 7783-82-6 高純度六フッ化タングステン
フッ化タングステンの中で、六フッ化タングステンは唯一の安定した工業生産製品であり、その主な用途は、半導体産業です。フッ化タングステンはほとんどの有機溶剤に溶け、水中や空気中の水分によっても分解されます。その化学的性質により、ニッケル、モネル、ステンレス鋼など、ほとんどすべての金属(金とプラチナを除く)と反応することができ、金属タングステン化学蒸着(CVD)プロセスの原料として知られています。また、六フッ化タングステン(純度:4N)は大規模集積回路(LSI)の配線材料であるWSi2を作る原材料(半導体電極や導電性ペーストの原料)、フッ素化剤、重合触媒、光学材料の原料としても広く使用されています。
製品情報
和名 | 六フッ化タングステン、フッ化タングステン(Ⅵ), タングステンヘキサフルオリド, |
英名 | Tungsten Hexafluoride, Tungsten(VI) fluoride, Wolframium(VI) fluoride |
ASHRAE名 | – |
CAS番号 | 7783-82-6 |
国連番号 | UN 2196 |
ODP | – |
GWP100年 | – |
大気寿命(日) | – |
荷姿 | 8L/44L/47L Cylinder
その他の荷姿についてはご相談下さい。 |
物性
化学式 | WF6 |
分子式 | F6W |
分子量 | 297.838 |
外観 | 無色の気体 |
沸点(℃) | 17.5 |
融点(℃) | 2.3 |
臨界温度(℃) | 195.41 |
蒸気の相対密度(空気=1) | – |
液体密度(水=1) | – |
蒸気圧(20℃,bar) | 0.89326 |
空気の中の可燃範囲(%vol) | – |
他の用途
- フッ素化学製品の合成原料、フッ素化学製品の合成原料
- 半導体電極や導電性ペーストの原料
- 重合触媒・光学材料の原料