高純度C4F8 / Cas No. 115-25-3 オクタフルオロシクロブタン FC-318
オクタフルオロシクロブタンは、エッチングガス、クリーニングガスに利用される高品質の半導体材料ガスです。
製品情報
和名 | オクタフルオロシクロブタン |
英名 | Octafluorocyclobutane/FC-318 |
ASHRAE名 | — |
CAS番号 | 115-25-3 |
国連番号 | 1976 |
ODP | 0 |
GWP100年 | 10600 |
大気寿命(年) | 3200 |
荷姿 | その荷姿についてはご相談下さい。 |
物性
化学式 | C4F8 |
分子式 | C4F8 |
分子量 | 200.03 |
外観 | 無色・無臭の気体 |
沸点(℃) | -5.8 |
融点(℃) | -41.4 |
臨界温度(℃) | — |
臨界圧力(MPa) | 27.5 |
臨界体積(cm3/mole) | — |
ガス密度(20℃,kg/m3) | — |
ガス比重 | 1.495 g/cm3 |
液密度(g/ml) | — |
蒸気圧(25℃,mmHg) | 2350 |
空気の中の可燃範囲(%vol) | 不燃 |
他の用途
- 冷媒
- 熱媒