高純度CH3F / Cas No. 593-53-3 HFC-41 高純度フルオロメタン

高純度フルオロメタン(Fluoromethane)ガス(純度:4N)は、環境に優しい新型の高性能エッチングガスとして、シリコン化合物の薄膜を選択的にエッチングでき、半導体や電子製品のエッチングプロセスに使用されます。また、低温冷媒としても利用できます。

製品情報

和名 フルオロメタン、モノフルオロメタン, フッ化メチル, フルオロメチリジン, フロン41, ハロカーボン41, R41
英名 Fluoromethane, Methyl fluoride
ASHRAE HFC-41
CAS番号 593-53-3
国連番号 UN 2454
ODP 0
GWP100 116
大気寿命(日) 2.8
荷姿 4.64L/10.2L/44L Cylinder

その他の荷姿についてはご相談下さい。

物性

化学式 CHF
分子式 CH3F
分子量 34.03
外観 無色・無臭の気体
沸点(℃) -78.4
融点(℃) -142
臨界温度(℃) 44.5
蒸気の相対密度(空気=1) 1.2
液体密度(水=1) 0.61
蒸気圧(20℃,bar) 33
空気の中の可燃範囲(%vol) >5.6

他の用途

  • 冷媒
  • 麻酔薬
  • フッ素化学製品の合成原料ッ素化学製品の合成原料