高純度CH3F / Cas No. 593-53-3 HFC-41 高純度フルオロメタン

/ 最終更新日時 : 2023年8月31日 3uweb 高純度エッチングガス

高純度フルオロメタン(Fluoromethane)ガス(純度:4N)は、新型の高性能エッチングガスとして、シリコン化合物の薄膜を選択的にエッチングでき、半導体や電子製品のエッチングプロセスに使用されます。また、低温冷媒としても利用できます。

和名	フルオロメタン、モノフルオロメタン, フッ化メチル, フルオロメチリジン, フロン41, ハロカーボン41, R41
英名	Fluoromethane, Methyl fluoride
ASHRAE名	HFC-41
CAS番号	593-53-3
国連番号	UN 2454
ODP	0
GWP₁₀₀_年	116
大気寿命（日）	2.8
荷姿	4.64L/10.2L/44L Cylinder その他の荷姿についてはご相談下さい。