高純度エッチングガス

• 高純度NF3 / Cas No. 7783-54-2 Trifluoroamine 高純度三フッ化窒素
• 高純度CF4 / Cas No.75-73-0 PFC-14 Carbon tetrafluoride 高純度テトラフルオロメタン
• 高純度C3HF5 / Cas No. 5528-43-8 HFO-1225ye(Z) Z-1,2,3,3,3-PENTAFLUOROPROPENE 高純度フルオロメタン
• 高純度CH3F / Cas No. 593-53-3 HFC-41 Fluoromethane 高純度フルオロメタン
• 高純度CF3I / Cas No. 2314-97-8 FIC-13I1 Trifluoroiodomethane 高純度トリフルオロヨードメタン
• 高純度C3F6 / Cas No. 116-15-4 PFO-1216 Hexafluoropropylene 高純度ヘキサフルオロプロピレン
• 高純度C2F6 / Cas No. 76-16-4 Hexafluoroethane 高純度1,1,1,2,2,2-ヘキサフルオロエタン
• 高純度C4F6 / Cas No. 692-50-2 Hexafluoro-2-butayne 高純度1,1,1,4,4,4-ヘキサフルオロ-2-ブチン
• 高純度C4F6 / Cas No. 685-63-2 PFO-2316 Hexafluoro-1,3-butadiene 高純度ヘキサフルオロ-1,3-ブタジエン
• 高純度C4F8 / Cas No. 115-25-3 Octafluorocyclobutane オクタフルオロシクロブタン FC-318