半導体製造用高純度フッ化カルボニル(COF2/Cas.353-50-4)

品名	化学式	CAS登録番号	略称	SDS
フッ化カルボニル	F2C=O	353-50-4	COF2	お問い合わせ

 物理的及び化学的性質

化学式	COF2
分子式	CF2O
分子量	66.01
外観	吸湿性、無色の圧縮液化ガス・刺激臭
沸点（℃）	-84.57
融点（℃）	-111.26
引火点	なし(不燃性)
爆発範囲	なし(不燃性)
蒸気圧（MPa,20.85℃）	5.33
臨界圧力（MPa）	5.76
臨界温度（℃）	23.9
相対蒸気密度(空気=1,21.1℃)	2.279
蒸気密度（空気=1,21.1℃,kg/m3）	2.734
液密度（g/cm3）	0.6308(20.85℃), 0.9875(-50.15℃)
有害性	許容濃度 ACGIH TLV-TWA(ヒト、8h)2ppm 急性毒性 LC50(ラット、1h)360ppm (ホスゲンの1/20,臭素の1/10,塩化水素と同様)
分解性	水と反応しCO2とHFを生成

 各種ガスの大気中存続期間と地球温暖化係数

地球温暖化の対策の一つとして「温室効果ガス(GHG : Green House Gas)」の削減が必要です。大気中のCO2やメタンも温暖化の原因の一つですが、温室効果ガスは地球温暖化係数（GWP：Global Warming Potential）が非常に高く、温室効果の大きいものです。フッ化カルボニルはこのGWPの値が低く地球にやさしいガスとして注目されています。

ガス	ライフタイム（大気中存続期間）[年]	GWP（地球温暖化係数）[100Y]
CF4	50,000	6,630
CHF3	270	12,400
C2F6	10,000	11,100
C3F8	2,600	8,900
SF6	3,200	23,500
NF3	740	16,100
COF2	~0	0.7
CO2	―	1

 登録情報他

官報公示整理番号	(1)-173
Cas No.	353-50-4
EINECS No.	206-534-2
UN No.	2417
Class	2.3(8)
適用法規	高圧ガス保安法
分類	液化ガス

 

◆荷姿

・5kg充填　 10Lボンベ

・25kg充填　47 Lボンベ