半導体製造用高純度フッ化カルボニル(COF2)

品名 化学式 CAS登録番号 略称 SDS
フッ化カルボニル F2C=O 353-50-4 COF2 お問い合わせ

フッ化カルボニルは、地球温暖化係数の低い化合物として現在注目されている化合物です。半導体やディスプレイ、太陽電池などの製造工程でエッチングやチャンバークリーニングなど様々な分野や工程に使用することができ、また現在使用されている地球温暖化係数の高い温室効果ガス(例えばCF4, C2F6, SF6, NF3)の代替品として、期待されています。

(右)COF2プラント

プラント写真2

 物理的及び化学的性質

化学式 COF2
分子式 CF2O
分子量 66.01
外観 吸湿性、無色の圧縮液化ガス・刺激臭
沸点(℃) -84.57
融点(℃) -111.26
引火点 なし(不燃性)
爆発範囲 なし(不燃性)
蒸気圧(MPa,20.85℃) 5.33
臨界圧力(MPa) 5.76
臨界温度(℃) 23.9
相対蒸気密度(空気=1,21.1℃) 2.279
蒸気密度(空気=1,21.1℃,kg/m3) 2.734
液密度(g/cm3) 0.6308(20.85℃), 0.9875(-50.15℃)
有害性 許容濃度 ACGIH TLV-TWA(ヒト、8h)2ppm

急性毒性 LC50(ラット、1h)360ppm

(ホスゲンの1/20,臭素の1/10,塩化水素と同様)

分解性 水と反応しCO2とHFを生成

 各種ガスの大気中存続期間と地球温暖化係数

地球温暖化の対策の一つとして「温室効果ガス(GHG : Green House Gas)」の削減が必要です。大気中のCO2やメタンも温暖化の原因の一つですが、温室効果ガスは地球温暖化係数(GWP:Global Warming Potential)が非常に高く、温室効果の大きいものです。フッ化カルボニルはこのGWPの値が小さく地球にやさしいガスとして注目されています。

ガス ライフタイム(大気中存続期間)[年] GWP(地球温暖化係数)[100Y]
CF4 50,000 6,630
CHF3 270 12,400
C2F6 10,000 11,100
C3F8 2,600 8,900
SF6 3,200 23,500
NF3 740 16,100
COF2 ~0 0.7
CO2 1

 登録情報他

官報公示整理番号 (1)-173
Cas No. 353-50-4
EINECS No. 206-534-2
UN No. 2417
         Class        2.3(8)
適用法規 高圧ガス保安法
        分類        液化ガス

 

◆荷姿

・5kg充填  10Lボンベ

・25kg充填 47 Lボンベ


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