高純度ガスは、半導体プロセスやクリーン仕様製品、エレクトロニクスや電子部品素材等の分野で多く使用されます。特定不純物が、一定濃度以下で保障された固有の性質を持つ、単成分の圧縮ガスまたは液化ガスです。

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