高純度ガスは、半導体プロセスやクリーン仕様製品、エレクトロニクスや電子部品素材等の分野で多く使用されます。特定不純物が、一定濃度以下で保障された固有の性質を持つ、単成分の圧縮ガスまたは液化ガスです。
高純度エッチングガス
- 高純度NF3 / Cas No. 7783-54-2 Trifluoroamine 高純度三フッ化窒素
- 高純度CF4 / Cas No.75-73-0 PFC-14 Carbon tetrafluoride 高純度テトラフルオロメタン
- 高純度C3HF5 / Cas No. 5528-43-8 HFO-1225ye(Z) Z-1,2,3,3,3-PENTAFLUOROPROPENE 高純度フルオロメタン
- 高純度CH3F / Cas No. 593-53-3 HFC-41 Fluoromethane 高純度フルオロメタン
- 高純度CF3I / Cas No. 2314-97-8 FIC-13I1 Trifluoroiodomethane 高純度トリフルオロヨードメタン
- 高純度C3F6 / Cas No. 116-15-4 PFO-1216 Hexafluoropropylene 高純度ヘキサフルオロプロピレン
- 高純度C2F6 / Cas No. 76-16-4 Hexafluoroethane 高純度1,1,1,2,2,2-ヘキサフルオロエタン
- 高純度C4F6 / Cas No. 692-50-2 Hexafluoro-2-butayne 高純度1,1,1,4,4,4-ヘキサフルオロ-2-ブチン
- 高純度C4F6 / Cas No. 685-63-2 PFO-2316 Hexafluoro-1,3-butadiene 高純度ヘキサフルオロ-1,3-ブタジエン
- 高純度C4F8 / Cas No. 115-25-3 Octafluorocyclobutane オクタフルオロシクロブタン FC-318
高純度絶縁ガス
- 高純度SF6/ Cas No.2551-62-4 Sulfur hexafluoride 高純度六フッ化硫黄
- 高純度CF3I / Cas No. 2314-97-8 FIC-1311 英名 Trifluoroiodomethane 高純度トリフルオロヨードメタン
- 高純度C4F7N / Cas No. 42532-60-5 Perfluoroisobutyronitrile FN-317mmy 高純度ペルフルオロイソブチロニトリル
- 高純度C5F10O / Cas No. 756-12-7 PFK-4110mmy Heptafluoroisopropyl trifluoromethyl ketone
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