C4H2F6 / Cas No. 382-10-5 (HFIB) Hexafluoroisobutene ヘキサフルオロイソブテン
ヘキサフルオロイソブテン(Hexafluoroisobutene)(純度:2N~3N)は地球温暖化係数（GWP）が非常に低く、環境にも優しいガスです。フッ素化剤としても利用が期待され、純度の高い４Nのガスは半導体のフロントエンドエッチングプロセスなどに使用されます。
製品情報
| 和名 | ヘキサフルオロイソブテン;
3,3,3-トリフルオロ-2-(トリフルオロメチル)プロペン |
| 英名 | Hexafluoroisobutene;
3,3,3-Trifluoro-2-(trifluoromethyl)-1-propene; HFIB |
| ASHRAE名 | / |
| CAS番号 | 382-10-5 |
| 国連番号 | UN 3162 |
| ODP | 0 |
| GWP100年 | <1 |
| 大気寿命（日） | 14.8 |
| 荷姿 | 4.64L/10.2L/44L Cylinder
その他の荷姿についてはご相談下さい。 |
物性
| 化学式 | C4H2F6 |
| 分子式 | (CF3)2C=CH2 |
| 分子量 | 164.05 |
| 外観 | 無色・無臭の気体 |
| 沸点（101.325kPa,℃） | 14.5 |
| 融点（℃） | – |
| 臨界温度（℃） | – |
| 臨界圧力（bar） | – |
| 臨界体積（cm3/mole） | – |
| ガス密度（15℃，kg/m3） | – |
| ガス比重（air=1） | – |
| 液体密度（101.325kPa，kg/l） | 1.39 |
| 蒸気圧（25℃，bar） | – |
| 空気の中の可燃範囲（%vol) | – |
他の用途
- エッチングガス