四フッ化炭素(純度:4N)は、室温で圧縮しやすく、揮発性が比較的高いガスです。最も安定した有機化合物の1つであり、水に溶けにくい性質を持っています。四フッ化炭素は、マイクロエレクトロニクス産業やその他の分野で重要な用途があり、二酸化ケイ素や窒化ケイ素をエッチングするためのエッチングガスとして長年にわたって使用されています。また、低温で極低温流体として使用でき、冷媒、ガス絶縁、フッ素化剤、表面処理剤、レーザーガス漏れ検知剤などの分野でも実績があります。