高純度CF4 / Cas No.75-73-0 PFC-14 高純度テトラフルオロメタン

四フッ化炭素(純度:4N)は、室温で圧縮しやすく、揮発性が比較的高いガスです。最も安定した有機化合物の1つであり、水に溶けにくい性質を持っています。四フッ化炭素は、マイクロエレクトロニクス産業やその他の分野で重要な用途があり、二酸化ケイ素や窒化ケイ素をエッチングするための誘電体材料として長年にわたって成熟して使用されており、現在、マイクロエレクトロニクス産業で使用されている最大のプラズマエッチングガスです。また、四フッ化炭素は低温で極低温流体として使用でき、冷媒、ガス絶縁、フッ素化剤、表面処理剤、レーザーガス漏れ検知剤などの分野で一定の応用空間があります。

製品情報

和名 テトラフルオロメタン,ペルフルオロメタン、四フッ化炭素、フロン14
英名 Perfluoromethane, Carbon tetrafluoride
ASHRAE PFC-14
CAS番号 75-73-0
国連番号 UN 1982
ODP 0
GWP100 7390
大気寿命(日) >50000
荷姿 8L/44L/47L Cylinder

その他の荷姿についてはご相談下さい。

物性

化学式 CF4
分子式 CF4
分子量 88
外観 無色・無臭の気体
沸点(℃) -127.8
融点(℃) -183.6
臨界温度(℃)
蒸気の相対密度(空気=1) 3.04
液体密度(水=1)
蒸気圧(25℃,mmHg) 175000
空気の中の可燃範囲(%vol)

他の用途

  • 冷媒
  • 絶縁ガス
  • フッ素化学製品の合成原料、フッ素化学製品の合成原料
  • 半導体の表面処理剤
  • レーザーガス漏れ検知剤