六フッ化硫黄の分子構造は八面体に配置されており、優れた絶縁性能を持つ気体です。人体に対し安全でかつ安定しているという特徴を持っているため、現在ではガス遮断器やガス絶縁開閉装置をはじめとする電気機器に広く用いられており、電力の安定供給に不可欠なものとなっています。また、六フッ化硫黄(純度:4N)は、優れた絶縁性と消火性を備える超高電圧絶縁誘電体材料です。コンピューターチップや液晶スクリーンなどの大規模集積回路の製造におけるプラズマエッチングおよび洗浄剤としてマイクロエレクトロニクス技術の分野で広く使用されています。また、光ファイバーの製造におけるフッ素ドープガラスの製造におけるフッ素源としても使用されます。さらに、エッチングガス、トレーサー、および冷媒としても使用できます。