高純度NF3 / Cas No. 7783-54-2 高純度三フッ化窒素

三フッ化窒素(NF3)(純度:4N)水への不溶性の特質があり、マイクロエレクトロニクス業界で優れたプラズマエッチングガスとして使用されています。プラズマエッチング中に活性フッ化物イオンに分解されます。シリコンや窒化シリコンをエッチングする場合、四フッ化炭素や四フッ化物と比較して三フッ化窒素が使用されます。炭素と四フッ化物の混合ガス酸素はエッチング速度と選択性が高く、特に厚さが1.5μm未満の集積回路材料のエッチングでは、三フッ化窒素はエッチング速度と選択性が非常に優れており、表面に残留物を残さず、また、非常に優れた洗浄剤としての役割も果たすことができます。

製品情報

和名 三フッ化窒素、トリフルオロアミン、ぺルフルオロアンモニア
英名 Trifluoroamine, Perfluoroammonia
ASHRAE
CAS番号 7783-54-2
国連番号 UN 2451
ODP
GWP100
大気寿命(日)
荷姿 8L/40L/43.3L/47LCylinder

その他の荷姿についてはご相談下さい。

物性

化学式 NF3
分子式 F3N
分子量 71
外観 無色・カビ臭の気体
沸点(℃) -128.75
融点(℃) -208.5
臨界温度(℃)
臨界圧力(bar)
臨界体積(cm3/mole)
ガス密度(25℃,kg/m3 2.98
ガス比重 2.49
液体密度(-129℃,kg/l) 1.533
蒸気圧(25℃,bar)
空気の中の可燃範囲(%vol)

他の用途

  • 洗浄剤
  • ガス絶縁
  • フッ化剤
  • 表面処理剤
  • レーザーガス漏れ検知剤