高純度C4F8 / Cas No. 115-25-3 Octafluorocyclobutane オクタフルオロシクロブタン FC-318
オクタフルオロシクロブタンは、エッチングガス、クリーニングガスに利用される高品質の半導体材料ガスです。
製品情報
| 和名 | オクタフルオロシクロブタン |
| 英名 | Octafluorocyclobutane/FC-318 |
| ASHRAE名 | — |
| CAS番号 | 115-25-3 |
| 国連番号 | 1976 |
| ODP | 0 |
| GWP100年 | 10600 |
| 大気寿命（年） | 3200 |
| 荷姿 | その荷姿についてはご相談下さい。 |
物性
| 化学式 | C4F8 |
| 分子式 | C4F8 |
| 分子量 | 200.03 |
| 外観 | 無色・無臭の気体 |
| 沸点（℃） | -5.8 |
| 融点（℃） | -41.4 |
| 臨界温度（℃） | — |
| 臨界圧力（MPa） | 27.5 |
| 臨界体積（cm3/mole） | — |
| ガス密度（20℃，kg/m3） | — |
| ガス比重 | 1.495 g/cm3 |
| 液密度（g/ml） | — |
| 蒸気圧（25℃，mmHg） | 2350 |
| 空気の中の可燃範囲（%vol) | 不燃 |
他の用途
- 冷媒
- 熱媒