高純度C2F6 / Cas No. 76-16-4 高純度1,1,1,2,2,2-ヘキサフルオロエタン
Hexafluoroethane (C2F6) ヘキサフルオロエタンは、プラズマエッチングプロセスにおいて重要なエッチングガスです。
製品情報
| 和名 | ヘキサフルオロエタン、ペルフルオロエタン、フロン１１６ |
| 英名 | Hexafluoroethane |
| CAS番号 | 76-16-4 |
| 国連番号 | UN 2193 |
| ODP | 0 |
| GWP100年 | 9200 |
| 大気寿命（年） | 1000 |
| 荷姿 |
その他の荷姿についてはご相談下さい。 |
物性
| 化学式 | C2F6 |
| 分子式 | CF3-CF3 |
| 分子量 | 138.01 |
| 外観 | 無色気体 |
| 沸点（℃） | -78.1 |
| 融点（℃） | -100.6 |
| 臨界温度（℃） | — |
| 臨界圧力（bar） | — |
| 臨界体積（cm3/mole） | — |
| ガス密度（21.1℃，kg/m3） | 5.72 |
| ガス比重（air=1） | 4.77 |
| 液体密度（15℃，kg/l） | — |
| 蒸気圧（20℃，bar） | 29.8 |
| 空気の中の可燃範囲（%vol) | — |
他の用途
・合成反応原料