高純度C3HF5 / Cas No. 2252-83-7 HFO-1225ye(Z) 高純度フルオロメタン
高純度フルオロメタン(Z-1,2,3,3,3-PENTAFLUOROPROPENE)ガス(純度:2N)は、新型の高性能エッチングガスとして、シリコン化合物の薄膜を選択的にエッチングでき、半導体や電子製品のエッチングプロセスに使用されます。また、低温冷媒としても利用できます。
製品情報
| 和名 |
(Z)-1,2,3,3,3-ペンタフルオロプロパ-1-エン,(Z)-1,2,3,3,3-ペンタフルオロプロペン,HFO-1225ye(Z) |
| 英名 | Z-1,2,3,3,3-PENTAFLUOROPROPENE |
| ASHRAE名 | HFO-1225ye(Z) |
| CAS番号 | 2252-83-7 |
| 国連番号 | UN 3163 |
| ODP | 0 |
| GWP100年 | <1 |
| 大気寿命（日） | 10.0 |
| 荷姿 | 4.64L/10.2L/44L Cylinder
その他の荷姿についてはご相談下さい。 |
物性
| 化学式 | C３HF5 |
| 分子式 | (Z)-CF3CF=CHF |
| 分子量 | 132.03 |
| 外観 | 無色・無臭の気体 |
| 沸点（℃） | -18.5 |
| 融点（℃） | / |
| 臨界温度（℃） | / |
| 蒸気の相対密度（空気=1） | 1.336 |
| 液体密度（水=1） | / |
| 蒸気圧（20℃，bar） | 2958.7±0.0 mmHg at 25C (Predicted) |
| 空気の中の可燃範囲（%vol) | / |
他の用途
- 冷媒
- チングガス
- フッ素化学製品の合成原料ッ素化学製品の合成原料