高純度WF6 / Cas No. 7783-82-6 Tungsten Hexafluoride 高純度六フッ化タングステン
フッ化タングステンの中で、六フッ化タングステンは唯一の安定した工業生産製品であり、その主な用途は、半導体産業です。フッ化タングステンはほとんどの有機溶剤に溶け、水中や空気中の水分によっても分解されます。その化学的性質により、ニッケル、モネル、ステンレス鋼など、ほとんどすべての金属（金とプラチナを除く）と反応することができ、金属タングステン化学蒸着（CVD）プロセスの原料として知られています。また、六フッ化タングステン(純度:4N)は大規模集積回路（LSI）の配線材料であるWSi2を作る原材料（半導体電極や導電性ペーストの原料）、フッ素化剤、重合触媒、光学材料の原料としても広く使用されています。
製品情報
| 和名 | 六フッ化タングステン、フッ化タングステン（Ⅵ）, タングステンヘキサフルオリド, |
| 英名 | Tungsten Hexafluoride, Tungsten(VI) fluoride, Wolframium(VI) fluoride |
| ASHRAE名 | – |
| CAS番号 | 7783-82-6 |
| 国連番号 | UN 2196 |
| ODP | – |
| GWP100年 | – |
| 大気寿命（日） | – |
| 荷姿 | 8L/44L/47L Cylinder
その他の荷姿についてはご相談下さい。 |
物性
| 化学式 | WF6 |
| 分子式 | F6W |
| 分子量 | 297.838 |
| 外観 | 無色の気体 |
| 沸点（℃） | 17.5 |
| 融点（℃） | 2.3 |
| 臨界温度（℃） | 195.41 |
| 蒸気の相対密度（空気=1） | – |
| 液体密度（水=1） | – |
| 蒸気圧（20℃，bar） | 0.89326 |
| 空気の中の可燃範囲（%vol) | – |
他の用途
- フッ素化学製品の合成原料、フッ素化学製品の合成原料
- 半導体電極や導電性ペーストの原料
- 重合触媒・光学材料の原料