高純度WF6 / Cas No. 7783-82-6 高純度六フッ化タングステン 六フッ化タングステン金属タングステン化学蒸着(CVD)プロセスの原料,六フッ化タングステンは大規模集積回路(LSI)の配線材料であるWSi2を作る原材料としても使用できます。