六フッ化タングステン金属タングステン化学蒸着（CVD）プロセスの原料,六フッ化タングステンは大規模集積回路（LSI）の配線材料であるWSi2を作る原材料としても使用できます。

熱伝導率の低いことからポリウレタンの発泡剤として、また、脱脂洗浄力、乾燥性のバランスがよく、金属部品・半導体の洗浄用途に使用されます。